• 濺鍍機監控系統
  • 濺鍍機監控系統

濺鍍機監控系統

本系統應用於監測半導體機台/工業機台,可依據現場網路環境選擇 採用單機/區域網路/網際網路,功能有:

1.自動採集各項感測器及設備現況,例如:設備耗電狀況、電力穩定情況、馬達震動、 溫度、濕度、各式離子濃度、有害氣體含量、真空度、閥門使用情況。

2.即時將蒐集到的數據顯示到戰情室中,以便現場人員觀看,機台運作情況。 3.也可以與廠內其他機台或程式結合,進一步實現MES(Manufacturing Execution System)

3.也可以與廠內其他機台或程式結合,進一步實現MES(Manufacturing Execution System)



半導體設備機台(實驗用/商用) 

工廠機台

自動化設備